Micro-Hybrid 

黑色硅紅外輻射源，TO39，帶蓋

具有真正黑體輻射功率的紅外輻射器，用于要求苛刻的氣體分析應用

•真正的黑體輻射特性

•膜片經(jīng)過熱機械調(diào)整，使用壽命長

•無光譜漂移

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋

描述

具有黑色硅發(fā)射層基于MEMS的紅外發(fā)射器，可用于長波范圍的NDIR氣體分析，用于要求苛刻的醫(yī)療和工業(yè)應用。

通過在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構(gòu)的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實黑體輻射特性的紅外源。強大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內(nèi)實現(xiàn)較高的輻射強度。除了高紅外輸出強度外，我們成功開發(fā)的重點還在于長期穩(wěn)定性。

JSIR 360光源可用于帶蓋或反射器的各種TO外殼和SMD外殼。密封的TO外殼中的各種回填氣體確保了更低的功率損耗。例如電池供電的應用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬加熱層以及的硅金屬微納米結(jié)構(gòu)表面。最終的鈍化層保證了在高達850°C的熱板溫度下發(fā)射行為的長期穩(wěn)定性。發(fā)射極芯片基于硅基板，背面蝕刻有膜。所有薄膜工藝均使用兼容CMOS的材料進行。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋

技術(shù)指標